恒运昌科创板上市：引领国产半导体设备核心零部件突破

芯东西1月28日报道，近日，广东深圳半导体设备核心零部件供应商恒运昌在科创板成功上市。

恒运昌以92.18元/股的发行价，发行市盈率为48.39倍，开盘即飙升至310元/股，涨幅高达236%。截至9点50分，其股价最高上涨至390元/股，市值为264亿元。

成立于2013年3月的恒运昌，是国产等离子体射频电源系统行业的领军企业，也是国内少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，荣获国家专精特新重点“小巨人”企业称号。

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化过程中的难点之一，直接影响设备工艺能力和产品良率，国产化率极低。

历经十年，恒运昌成功推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，打破了MKS和AE两大国际巨头在国内长达数十年的垄断。

据弗若斯特沙利文统计，2024年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，恒运昌在国产厂商中市场份额居首位。

作为首家过亿元出货和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商，恒运昌的产品系列已广泛应用于拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内顶级半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂。

其量产产品已达到国际领先企业的技术水平，可支持7-14nm制程。

拓荆科技不仅是恒运昌的第一大客户，也是其第七大股东，直接持股3.09%，同时拓荆科技全资子公司上海岩泉持股0.33%。

本次IPO，恒运昌募资总额为15.61亿元，拟用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设等项目。

年收入超5亿，产品支撑7-14nm先进制程

恒运昌专注于等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发、生产、销售及技术服务，并引进相关核心零部件，提供等离子体工艺整体解决方案。

等离子体工艺广泛应用于芯片制造的关键环节，如薄膜沉积、刻蚀等，并随着先进封装技术的发展而扩展。

恒运昌致力于等离子体射频电源系统的技术创新，于2021年向中芯国际交付Bestda等离子体射频电源，实现国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换。

其自主研发的第二代产品Bestda系列支持28nm制程，第三代产品Aspen系列支持7-14nm先进制程，达到国际先进水平。

恒运昌在2022年至2025年上半年的营收分别为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元、3.04亿元，净利润分别为0.26亿元、0.8亿元、1.42亿元、0.69亿元。

已量产交付国内头部半导体设备商

自研产品实现千万级收入

截至报告期末，恒运昌拥有研发人员158名，占员工总数的42.13%。授权发明专利达108项，在申请发明专利达133项。

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