国产射频电源龙头恒运昌科创板上市：市值冲破260亿，攻克7nm先进制程零部件难题

1月28日，国内半导体产业传来捷报。深圳半导体设备核心零部件领域的领军企业恒运昌正式在科创板挂牌上市，标志着国产半导体配套产业链在资本市场再下一城。

此次恒运昌发行价格确定为92.18元/股，发行市盈率达48.39倍。上市首日，恒运昌开盘便受到市场热烈追捧，开盘价直冲310元/股，涨幅高达236%。截至上午9点50分，其股价一度触及390元/股，最高涨幅超323%，公司总市值迅速攀升至264亿元人民币。

恒运昌自2013年成立以来，始终深耕等离子体射频电源系统赛道。作为国家级专精特新重点“小巨人”企业，公司已成长为国内极少数具备半导体级射频电源系统量产能力的龙头厂商，打破了长期以来高端市场由海外巨头垄断的局面。

在半导体制造中，等离子体射频电源系统被公认为国产化门槛最高、难度最大的环节之一。它直接关乎设备的工艺精准度及芯片的最终良率，由于技术壁垒极高，该领域的国产替代率此前一直处于极低水平。

经过十年的技术沉淀与自主研发，恒运昌相继攻克了多项核心技术，推出了CSL、Bestda、Aspen三大产品系列。这些产品的问世，成功挑战了美系巨头MKS和AE在国内市场的统治地位。

权威调研机构弗若斯特沙利文的数据显示，2024年中国大陆半导体等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。在这一背景下，恒运昌凭借卓越的市场表现，在国产厂商中占据了第一的市场份额。

不仅如此，恒运昌还创下了多项行业纪录：它是国内首家出货额突破亿元的厂商，也是首家实现支持先进制程（7-14nm）射频电源量产的企业。目前，其产品已广泛进入拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等一线设备商的供应链，并获得中芯国际、长江存储等主流晶圆厂的配套应用。

技术参数显示，恒运昌的量产产品已对标国际龙头的次新一代水平，能够稳定支撑7-14nm制程工艺，实现了关键环节的自主可控。

值得注意的是，恒运昌与客户之间形成了深度战略绑定。国产薄膜沉积巨头拓荆科技不仅是其最大的客户，还是其第七大股东，通过直接及子公司间接持股比例合计约3.42%。

根据IPO规划，恒运昌本次募集资金总额为15.61亿元，扣除发行费用后的净额约14.14亿元。这笔资金将重点投向沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目，进一步扩大产能并提升技术研发深度。

01.

年收逾5亿，先进封装与制程全覆盖

恒运昌的业务版图涵盖了等离子体射频电源、激发装置、直流电源及其相关配件。通过整合真空获得与流体控制技术，公司致力于为半导体制造提供全方位的等离子体工艺核心零部件解决方案。

目前，等离子体技术已贯穿刻蚀、沉积、注入、清洗等多个芯片制造核心步骤。随着摩尔定律的推进及先进封装需求的激增，射频电源的重要性日益凸显。

早在2021年，恒运昌就向中芯国际交付了Bestda系列产品，成功实现了国产刻蚀设备射频电源的首次原位替换，具有里程碑意义。

其产品矩阵中，第二代Bestda系列锁定28nm成熟制程，而第三代Aspen系列则精准攻克7-14nm先进制程，填补了国内技术空白。

财报数据显示，2022年至2024年，恒运昌营收从1.58亿元稳步增长至5.41亿元，净利润也随之翻倍增长。2025年上半年，公司继续保持强劲势头，半年营收已突破3亿元。

▲恒运昌近年经营业绩趋势图

核心竞争力的提升体现在自研产品占比的持续提高。到2025年上半年，自研产品收入占比已攀升至84.81%，公司主营业务毛利率也提升至近50%的水平，盈利能力直逼国际巨头MKS。

02.

研发天团集结，24款产品跨入千万级收入俱乐部

强大的技术基因是恒运昌崛起的底气。公司研发人员占比超过42%，拥有超百项已授权发明专利。通过构建底层通用基石技术，恒运昌发展出多项针对先进制程的支撑技术，确保了在高频、高压环境下的精准输出。

由于市场需求旺盛，恒运昌近年产能利用率持续超过100%，处于超负荷运转状态。这从侧面反映了国产设备厂商对核心零部件国产化的迫切需求。

截至2025年上半年，恒运昌已有24款自研产品实现千万级年收入，38款产品实现百万级收入，充分证明了其产品的商业化成熟度。在拓荆科技、中微公司、北方华创等头部厂商的供应链中，恒运昌的渗透率正在加速提升。

03.

AE系精英团队，实控人乐卫平持股高度集中

恒运昌的成功离不开一支懂技术、懂行业的创始团队。实控人乐卫平曾任职于全球射频电源巨头AE（Advanced Energy），其核心研发团队中的林伟群、姚志毅等多名大将同样具备深厚的AE背景。这种“技术派”底色使得恒运昌在成立之初就具备了与国际巨头对话的技术视野。

在股权结构上，乐卫平保持了极高的控制权。此次上市后，虽然引进了拓荆科技等战略投资者，但其决策权依然稳固。这种稳定的管理结构有利于公司在长周期的半导体研发中保持战略定力。

结语

恒运昌的成功上市，不仅是企业自身发展的里程碑，更是中国半导体核心零部件迈向自给自足的重要一步。从依赖进口到实现7nm先进制程的局部突破，国产厂商正逐步在“无人区”建立自己的据点，为构建坚韧的本土半导体产业链贡献力量。