上市仅数月,国产芯片公司就向美国巨头发起了“诉讼战”。
8月13日晚间,屹唐股份发布公告称,美国芯片设备巨头应材被指控非法获取其核心技术秘密,并在中国境内申请专利,违反了“反不正当竞争法”,侵犯了商业秘密,公司向应材提出了9999万元的索赔。
公告显示,该诉讼涉及一项用于晶圆表面处理的先进技术,广泛应用于干法去胶、干法蚀刻等半导体加工设备中,屹唐股份称这是其关键技术之一。
晶圆制造的主要流程
资料表明,在半导体制造中,等离子体通过高频电场激发气体产生,由于其高活性,能与固体表面(硅晶圆)发生物理或化学作用,实现精密加工。
等离子体的高浓度意味着在单位时间内与晶圆表面发生反应的粒子数量更多,同时保证对微小的晶圆表面区域充分作用,以实现提效;而稳定均匀则更为重要,可以保证同批次的晶圆质量一致,避免芯片报废。
屹唐股份在公告中指控应材通过雇佣其全资子公司Mattson的员工获取商业机密,称相关员工知晓上述技术并签署了保密协议,但在加入应材后在中国境内发起了专利申请,公开披露了屹唐和其子公司Mattson共有的技术秘密。
该案件目前处于受理阶段,且屹唐股份强调此次诉讼不会对公司经营产生重大不利影响,这种情况下发布诉讼公告颇为不寻常。此外,公告也未明确说明这项技术属于屹唐和其子公司Mattson。
“为了造势,争取舆论支持,”一位资深法律人士表示,“他们更像是在告诉外界,中国公司可以挑战美国大企业。”
作为半导体设备龙头,屹唐股份于7月8日在科创板上市,开盘大涨近200%,市值超过770亿元。截至发稿,其最新市值为697.22亿元。
自2020年5月、9月和10月以来,屹唐股份连续获得三轮融资,被誉为“创投圈现象级项目”。
屹唐股份成立于2015年,由亦庄国投孵化,2016年收购美国半导体设备企业Mattson,是一家总部设在中国、在全球拥有研发与制造基地的半导体公司。其核心业务包括晶圆加工设备的研发、生产和销售,为全球客户提供干法去胶设备、快速热处理设备等解决方案。
根据Gartner 2023年的统计数据,屹唐股份在干法去胶设备和快速热处理设备市场占有率均位居全球第二,干法刻蚀设备市场占有率位列全球第九。
值得注意的是,排名靠前并不直接等同于市场份额大。其干法去胶设备在2023年的全球市场占有率相对较高,达到34.60%,快速热处理设备市场占有率为13.05%,而干法刻蚀设备市场占有率为0.21%。
截至2024年6月,屹唐股份相关设备累计装机超过4600台,覆盖逻辑芯片、闪存芯片和DRAM芯片领域。其中,快速热处理设备单价高达1500万元,干法刻蚀设备单价接近2500万元,干法去胶设备单价约为700万元。
招股书显示,2021-2023年,公司营业收入分别为32.41亿元、47.63亿元和39.31亿元;净利润分别为1.81亿、3.83亿和3.09亿元。2024年1-9月,公司营收为33.3亿元,同比增长23.89%,净利润为4.2亿元,同比增长102.29%。公司预计全年营收在45-47亿元之间,归母净利润在4.8-5.5亿元之间,扣非净利润同比增长59.94%-85.85%。
客户分布方面,自2021年起,大陆客户的营收贡献逐渐上升。到2024年前6个月,大陆客户的营收贡献占比达到68.1%。
屹唐股份客户分布(来源:招股书)
本次IPO计划募集资金25亿元用于集成电路装备研发制造服务中心项目、高端集成电路装备研发项目及发展和科技储备资金。
屹唐股份在招股书中提示的风险主要包括市场竞争、产品线覆盖度、贸易摩擦及业绩波动。其中在市场竞争方面指出在快速热处理及干法刻蚀领域与国际巨头相比市场占有率仍有较大差距。
以干法刻蚀为例其2023年的市场占有率为全球第九而前三名厂商泛林半导体、东京电子及应用材料合计占有83.95%的市场份额。
此次诉讼实质上是Mattson与美国应用材料公司之间法律纠纷的延续。“导火索”是“Mattson在14个月内从应材挖走了17名资深工程师”。
据悉这些员工能接触到芯片制造流程和技术路线图等敏感信息。
据应材提交至美国司法部门的材料显示一名员工在加入Mattson前试图将从应材云存储系统中标记为机密的文件下载到个人存储未果后又转发至个人邮箱相关内容包括用于薄膜沉积的新型腔体或反应器的3D渲染图、详细尺寸和材料成分等高度敏感的技术信息。在加入Mattson后该名员工用公司电脑登录个人邮箱获取之前转存的资料。
随后Mattson否认了该指控并于去年对应材发起了同类型诉讼指控应材挖角其两名前员工存在商业秘密盗用、违约等行为涉及等离子处理设备技术秘密。
“硅谷企业之间挖人很正常而商业秘密是最主要的保护武器。”美国凯腾律所合伙人韩利杰此前表示。
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